2023年度國家自然科學基金指南引導類原創探索計劃項目
——“集成電路關鍵材料前沿探索”項目指南

為貫徹落實黨中央、國務院關于加強基礎研究和提升原始創新能力的重要戰略部署，國家自然科學基金委員會（以下簡稱自然科學基金委）工程與材料科學部擬資助“集成電路關鍵材料前沿探索”原創探索計劃項目（以下簡稱原創項目）。集成電路材料是集成電路產業發展的基石，因此自主研發集成電路用關鍵材料尤為重要。本項目通過材料、化學、物理和信息等多學科的深度交叉融合，針對集成電路制造過程中涉及到的關鍵金屬材料、無機非金屬材料及有機高分子材料，探索材料制備與應用的新原理、新方法與新技術，推動原始創新，為突破集成電路材料領域的“卡脖子”難題提供基礎支撐，服務國家重大戰略需求，引領國際科技前沿。

一、科學目標

本項目面向集成電路用關鍵材料，具體科學目標如下：（1）聚焦光刻膠、柔性集成電路載板等高分子材料的結構設計、固化機制及復合材料界面微結構演變與失效機理，實現關鍵材料的理論預測、精準合成與技術突破；（2）針對集成電路尺寸微縮瓶頸與挑戰，發展低功耗、高集成度器件應用所需的新型非硅CMOS溝道材料、晶體柵介質材料、高效電光調制系數材料和三維堆疊鐵電存儲陣列材料；（3）針對集成電路極限制程封裝的微凸點高質量制備和高密度互連需求，發展晶圓級微凸點互連材料，實現封裝電接觸材料的精準構筑。

二、資助方向

（一）極紫外高分子光刻膠。

針對極紫外光刻膠應用目標，建立序列可控精準高分子的合成方法及原位分析手段，闡明光刻膠的精準化學/聚集態結構與靈敏度、分辨率、線邊緣粗糙度間的關聯，構建非光酸放大型極紫外光刻膠材料。

（二）本征型層間互連封裝光刻膠。

發展耐高溫光刻膠，研究聚合物固化機制及固化條件與光刻膠性能之間的關系，揭示光刻圖形缺陷形成機制，發展缺陷控制及封裝光刻膠多功能化的新原理和新方法。

（三）集成電路用高分子復合材料界面微結構演變與失效機理研究。

發展界面微結構及其演變的表征新方法，研究材料表界面物理化學特性及其在不同熱、機械等環境下的演變機理，探索復合界面處分子鏈松弛行為與熱應力耗散的機理及復合界面偶聯改性失效的化學機制，探索金屬離子等在界面遷移擴散與聚集行為，構建異質復合界面多尺度失效分析模型。

（四）柔性集成電路載板的材料設計與性能調控。

研究具有高撓曲、高尺寸穩定柔性集成電路載板基材的合成與物性控制的新方法，探索柔性基板表界面性質和微觀結構的調控機制及界面增強的新策略，揭示柔性載板材料光敏性與光刻分辨率的構效關系，發展柔性集成電路載板高精度導電線路的制造方法。

（五）面向非硅CMOS器件的新型溝道材料。

針對亞納米尺寸下傳統溝道材料性能衰退導致的集成電路功耗激增問題，發展突破尺寸微縮極限的高質量、低缺陷二維半導體材料等新型溝道材料，設計、構筑高質量異質界面，實現載流子的高效調控，推動新型溝道材料在非硅CMOS器件和邏輯電路的典型應用。

（六）面向后摩爾時代低能耗器件的晶體柵介質材料。

圍繞后摩爾時代傳統柵介質材料柵控能力下降導致的能耗瓶頸難題，研發具有低缺陷密度的新一代晶體柵介質材料，發展超越硅基場效應晶體管的新原理和新材料，實現低功耗器件的制備。

（七）面向高集成度電光調制器的納米光子材料。

針對因光學衍射極限導致硅光芯片難以小型化的問題，設計新型光子材料與結構，探索多物理場作用下光子材料納米光學模式的調控規律，實現光子材料中光傳播方向、相位和模場分布的精細操控，為下一代高集成度電光調制器提供新材料。

（八）面向高密度三維堆疊存儲陣列應用的鐵電材料。

針對大數據時代高密度和海量存儲需求，發展高密度三維堆疊存儲陣列新型鐵電材料，闡明鐵電材料電荷注入/反注入的微觀動力學過程，揭示鐵電材料缺陷產生機制與調控機理，構筑基于鐵電材料的高密度三維堆疊存儲陣列。

（九）晶圓級Sn-Ag微凸點互連材料。

揭示添加劑對高、低電力線區域的抑制電沉積作用機制以及對Sn-Ag微凸點合金形核-結晶行為的影響規律，闡明芯片互連工藝下微凸點與常用Ni、Cu、ENIG等金屬基體的界面作用機理，建立直徑小于60微米、12英寸晶圓級Sn-Ag微凸點互連材料的電沉積制備方法。

（十）極限制程封裝電接觸材料精準構筑及電子結構調制。

針對后摩爾時代集成電路極限制程封裝的高密度互連需求，提出近零缺陷電接觸材料微結構的精準構筑新策略，揭示微量元素摻雜對主體元素電子結構的調制作用，探索金屬元素與缺陷的相互作用機制，闡明稀合金體系在機械力和熱力作用下的織構演化規律。

三、資助計劃

本原創項目資助期限為3年，申請書中研究期限應填寫“2024年1月1日—2026年12月31日”。計劃資助8-10項，平均資助強度200萬元/項。

四、申請要求

（一）申請資格。

具有承擔基礎研究項目（課題）或其他基礎研究經歷的科學技術人員均可提出申請。

（二）限項申請規定。

1.申請人同年只能申請1項原創項目（含預申請）。

2.原創項目從預申請開始直到自然科學基金委做出資助與否決定之前，不計入申請和承擔總數范圍，獲資助后計入申請和承擔總數范圍。

3.應符合《2023年度國家自然科學基金項目指南》中對申請項目數量的限制。

五、申請程序

（一）預申請。

1.預申請提交時間為2023年11月24日－11月26日16:00時，以國家自然科學基金網絡信息系統（以下簡稱信息系統）提交時間為準，在提交時間之外提交的申請將不予受理。

2.請申請人登錄信息系統https://grants.nsfc.gov.cn撰寫預申請。沒有信息系統賬號的申請人請向依托單位基金管理聯系人申請開戶。在信息系統“申請與受理”菜單下，點擊“原創項目預申請”，進入預申請填寫頁面，選擇“指南引導類”，附注說明選擇“集成電路關鍵材料前沿探索”，申請代碼1應當填寫工程與材料科學部相應的申請代碼（“E”字母開頭），申請代碼2根據項目研究所涉及的領域自行選擇相應學科申請代碼。以上選擇不準確或未選擇的項目申請不予資助。

3.預申請主要闡述所提學術思想的原創性、科學性和潛在影響力，字數控制在2000字以內。另外，申請人還須在“與指南所列研究方向的吻合性”中注明申請針對的本指南所列資助方向名稱。申請人按照信息系統中的有關提示填寫預申請相關內容后直接提交至自然科學基金委。

4.自然科學基金委受理預申請并組織審查。審查結果將以電子郵件形式反饋至申請人。

（二）正式申請。

1.預申請審查通過的申請人，應按照“專項項目-原創探索計劃項目正式申請書撰寫提綱”要求填寫正式申請書。正式申請的核心研究內容應與預申請一致，并要求在正式申請書正文的第一句明確寫明申請項目所對應的本指南所列資助方向。

2.除特別說明外，每個原創項目的合作研究單位數合計不超過2個；主要參與者必須是項目的實際貢獻者。

3.申請人應根據《國家自然科學基金資助項目資金管理辦法》《項目資金管理有關問題的補充通知》有關規定和《國家自然科學基金項目資金預算表編制說明》的具體要求，按照“目標相關性、政策相符性、經濟合理性”的基本原則，認真編制《國家自然科學基金項目資金預算表》。

4.申請人完成申請書撰寫后，在線提交電子申請書及附件材料。

5.依托單位應對本單位申請人所提交申請材料的真實性和完整性進行審核。原創項目采用無紙化申請方式，依托單位只需在線確認并及時提交電子申請書及附件材料，并在截止時間后24小時內在線提交項目申請清單，無需報送紙質申請書。項目獲批準后，將申請書的紙質簽字蓋章頁裝訂在《資助項目計劃書》最后，與之一并提交。簽字蓋章的信息應與信息系統中的電子申請書保持一致。

6.自然科學基金委項目材料接收工作組負責接收申請材料，如材料不完整，將不予接收。材料接收工作組聯系方式如下：北京市海淀區雙清路83號國家自然科學基金委員會項目材料接收工作組（行政樓101房間），聯系電話：010-62328591。

六、注意事項

（一）資助項目信息公布。

自然科學基金委將在官方網站公布資助原創項目基本信息。

（二）項目實施保障。

原創項目負責人應將主要精力投入原創項目的研究中；依托單位應加強對原創項目實施的監督、管理和服務，減輕項目負責人不必要的負擔，為項目研究提供必要的制度和條件保障。

（三）其他。

原創項目申請與資助不設復審環節。

自然科學基金委將把相關項目負責人項目執行情況和評審專家的評審情況計入信譽檔案。

（四）咨詢方式。

1.填報過程中遇到的技術問題，可聯系自然科學基金委信息中心協助解決，聯系電話：010-62317474。

2.其他問題可咨詢工程與材料科學部綜合與戰略規劃處，電話：010-62326887。

關于發布工程與材料科學部“雙碳”專項項目（二）
——“工程與材料領域低碳科學基礎研究”項目指南的通告

為推動面向國家“雙碳”戰略目標的基礎研究，落實國家自然科學基金委員會（以下簡稱自然科學基金委）《“雙碳”基礎研究指導綱要》，工程與材料科學部設立“雙碳”專項項目（二）——“工程與材料領域低碳科學基礎研究”，針對低碳建筑材料制備、綠色低碳生物基材料制備、冶金流程低碳化、可再生能源高效利用、能源高效低碳輸運、城市減污降碳、CO₂利用和封存等關鍵技術領域，開展多學科交叉研究，以基礎研究創新和技術突破，支撐“雙碳”戰略目標實現。

一、資助方向及科學目標

（一）多元低鈣膠凝材料的基礎研究（申請代碼1選擇E0202）。

研制多元低鈣礦物主導的低碳高性能膠凝材料新體系，揭示低鈣熟料礦物間的多元協同增強機制，提出多元低鈣礦物協同膠凝新原理，建立硅酸鹽水泥碳減排指標與性能協同提升方法，為構建低碳水泥新體系奠定理論基礎。

（二）大宗固廢制備低碳水泥的基礎研究（申請代碼1選擇E0202）。

探究大宗非碳酸鹽固廢替代原料制備硅酸鹽水泥熟料的動力學過程及調控機理，揭示典型固廢在多場耦合作用下的物相結構演化及制備水泥的性能調控機制，建立大宗固廢制備水泥的碳排放模型，為水泥工業碳減排躍升奠定理論基礎。

（三）低碳高性能渣土基骨料混凝土設計理論與方法（申請代碼1選擇E0805）。

探究工程渣土低碳-無機固化作用機理，研究高性能渣土基骨料制備技術原理，提出低碳高性能渣土基骨料混凝土設計方法與性能調控策略，發展渣土基骨料混凝土3D打印增材制造關鍵理論與技術，實現工程渣土的低碳處置與渣土基骨料高性能混凝土的低碳制備。

（四）基于低碳建筑目標的混凝土材料-結構一體化設計理論與方法（申請代碼1選擇E0805）。

研究鋼筋混凝土建筑隱含碳排放時空特征，建立考慮使用壽命的建筑隱含碳排放核算理論與方法；構建鋼筋混凝土建筑隱含碳排放評價方法；研究材料組合優化對建筑隱含碳排放的影響機制，提出基于低碳建筑目標的混凝土材料-結構一體化設計理論與方法。

（五）綠色低碳生物基可降解橡膠基礎研究（申請代碼1選擇E1305）。

開展高性能綠色低碳可降解輪胎制備方法研究，設計新型生物基可降解橡膠分子及納米復合結構，闡明多層次多尺度結構對輪胎磨屑降解性能、抗濕滑性能和節能性能的調控機制，為突破高分子量橡膠材料的規模化制備技術提供理論支撐。

（六）鋁冶金新方法及節能提效研究（申請代碼1選擇E0412）。

針對現行原鋁生產工藝流程能耗高、碳排高等問題，探究鋁土礦或含鋁原料直接氯化過程的反應機理；揭示氯化鋁電解質體系熔鹽結構與物理化學性質內稟關系，闡明電解質特性對熔鹽結構與性能的作用機制；研究鋁冶金新方法與碳排放等環境負荷的關聯機制。

（七）聚光太陽能全光譜光-熱-儲協同利用（申請代碼1選擇E0607）。

探究聚光太陽能全光譜利用的熱力學極限，闡明聚光太陽能全光譜捕獲過程中的多因素、多尺度效應對光熱能量傳輸及轉化影響機理，揭示極端能流條件下光場-溫度場-應力場等多物理場耦合對光譜選擇性吸收、能量轉化和系統運行的影響規律，提出聚光太陽能全光譜利用技術的綜合評價方法，建立下一代高溫光-熱-儲系統能量傳遞轉化與儲能/釋能協同調控方法。

（八）LNG管網綜合輸送與“冷能”利用（申請代碼1選擇E1202）。

探究新建管網綜合輸送體系中LNG液態管道輸送方式，提出大規模遠洋貿易到港LNG高品位“冷能”梯級利用的新方法，揭示LNG管網與冷網、天然氣網絡等的高效匹配、優化方法及城市用冷需求波動下調控機制，以全面發揮其在“雙碳”中的作用。

（九）城市多介質碳污協同減控關鍵技術原理（申請代碼1選擇E1008）。

探究城市典型場景中多源污染物與碳排放特征，發展針對城市污水、工業煙氣、生活垃圾的碳污協同減控新方法，揭示水-氣-固介質中關鍵污染物和溫室氣體協同減排阻控機制，提出城市多介質碳污協同減控新原理與技術。

（十）頁巖油儲層CO₂利用與地質封存基礎研究（申請代碼1選擇E0402）。

研究頁巖油儲層超臨界CO₂壓裂巖石破裂與裂縫展布機理，探究流體-頁巖相互作用機制，揭示頁巖油超臨界CO₂壓裂增產機理，建立頁巖油儲層CO₂壓裂效能、地質封存潛力與風險評估模型，發展頁巖油儲層中CO₂高效利用與封存理論。

二、資助期限和資助強度

本專項項目資助期限3年，申請書中研究期限應填寫“2024年1月1日－2026年12月31日”，計劃資助10-12項，平均資助強度200萬元/項。

三、申請要求及注意事項

（一）申請資格。

1. 具有承擔基礎研究課題的經歷。

2. 具有高級專業技術職務（職稱）。

在站博士后研究人員、正在攻讀研究生學位以及無工作單位或者所在單位不是依托單位的人員不得作為申請人進行申請。

（二）限項規定。

1. 本專項項目從申請開始直到自然科學基金委做出資助與否決定之前，不計入申請和承擔總數范圍，獲資助后計入申請和承擔總數范圍。

2. 申請人和主要參與者只能申請或參與申請1項本專項項目。

3. 申請人同年只能申請1項專項項目中的研究項目。

（三）申請注意事項。

1. 申請人在填報申請書前，應當認真閱讀本“專項項目指南”《國家自然科學基金專項項目管理辦法》《2023年度國家自然科學基金項目指南》的相關內容，不符合項目指南、管理辦法和相關要求的申請項目不予受理。

2. 本專項申請提交時間為2023年12月10日-12日16:00時，以國家自然科學基金網絡信息系統（以下簡稱信息系統）提交時間為準，在提交時間之外提交的申請將不予受理。

3. 申請人應登錄信息系統https://grants.nsfc.gov.cn，按照撰寫提綱及相關要求撰寫申請書。沒有信息系統賬號的申請人請向依托單位基金管理聯系人申請開戶。

4. 申請人在進入信息系統后中首先選擇“在線申請”-“新增項目申請”-“申請普通科學部項目”。申請書中的資助類別選擇“專項項目”，亞類說明選擇“研究項目”，附注說明選擇“科學部綜合研究項目”。根據申請的具體研究內容選擇相應的申請代碼。以上選擇不準確或未進行選擇的項目申請將不予受理。

5.?本專項項目實行無紙化申請，申請人完成申請書撰寫后，在線提交電子申請書及附件材料。依托單位只需在線確認電子申請書及附件材料，無須報送紙質申請書，但應對本單位申請人所提交申請材料的真實性和完整性進行認真審核。依托單位在截止時間前通過信息系統逐項確認并提交本單位電子申請書及附件材料；在截止時間后24小時內在線提交本單位項目申請清單。項目獲批準后，依托單位將申請書的紙質簽字蓋章頁裝訂在《資助項目計劃書》最后，在規定的時間內按要求一并提交。簽字蓋章的信息應與信息系統中的電子申請書保持一致。

6. 本專項每個項目的合作研究單位數合計不超過2個。

四、咨詢聯系方式

1. 填報過程中遇到的技術問題，可聯系自然科學基金委信息中心協助解決，聯系電話：010-62317474。

2. 其他問題，可咨詢自然科學基金委工程與材料科學部，咨詢電話：010-62326884。

國家自然科學基金委員會

工程與材料科學部

2023年11月13日

2023年度國家自然科學基金指南引導類原創探索計劃項目
——“復雜惡劣條件下水電工程智能建設新理論新方法”項目指南

面向國家西南地區水電開發重大戰略，國家自然科學基金委員會（以下簡稱自然科學基金委）工程與材料科學部擬資助“復雜惡劣條件下水電工程智能建設新理論新方法”原創探索計劃項目（以下簡稱原創項目）。

一、科學目標

聚焦復雜惡劣條件下巨型水電工程建設難點和挑戰，在超深厚覆蓋層堆石壩面板混凝土澆筑振搗質量控制、面板韌性與結構性態演化、深埋超大規模地下廠房洞室群開挖鉆爆等方面，開展智能感知、精準分析模擬、智能饋控研究，建立水電工程智能建設創新理論與方法。

二、資助方向

（一）復雜惡劣條件下堆石壩面板混凝土振搗探測智能感知。

研究觸覺、視覺、力覺等多模態協同探測與智能感知方法，揭示振搗過程中混凝土流變性能、組分（骨料、氣泡等）分布與演變規律，提出混凝土振搗質量智能辨析方法。

（二）超深厚覆蓋層堆石壩混凝土面板韌性時變分析。

研究堆石壩混凝土面板性態參變量的智能表征，揭示超深厚覆蓋層混凝土面板變形演化規律，建立強地震條件下堆石壩混凝土面板韌性分析方法。

（三）深埋超大規模地下廠房洞室群復雜巖體智能鉆爆。

研究深埋地下洞室群復雜巖體智能鉆爆環境構圖，建立鉆爆開挖智能布孔方法，提出多鉆臂高效協同機制與智能精準鉆進理論模型。

三、資助計劃

本原創項目資助期限為3年，申請書中研究期限應填寫“2024年1月1日－2026年12月31日”。計劃資助3項，平均資助強度200萬元/項。

四、申請要求

（一）申請資格。

具有承擔基礎研究項目（課題）或其他基礎研究經歷的科學技術人員均可提出申請。

（二）限項申請規定。

1.申請人同年只能申請1項原創項目（含預申請）。

2.原創項目從預申請開始直到自然科學基金委做出資助與否決定之前，不計入申請和承擔總數范圍，獲資助后計入申請和承擔總數范圍。

3.應符合《2023年度國家自然科學基金項目指南》中對申請項目數量的限制。

五、申請程序

（一）預申請。

1.預申請提交時間為2023年11月24日－11月26日16:00時，以國家自然科學基金網絡信息系統（以下簡稱“信息系統”）提交時間為準，在提交時間之外提交的申請將不予受理。

2.請申請人登錄信息系統https://grants.nsfc.gov.cn撰寫預申請。沒有信息系統賬號的申請人請向依托單位基金管理聯系人申請開戶。在信息系統“申請與受理”菜單下，點擊“原創項目預申請”，進入預申請填寫頁面，選擇“指南引導類”，附注說明選擇“復雜惡劣條件下水電工程智能建設新理論新方法”，申請代碼1應當填寫工程與材料科學部相應的申請代碼（“E”字母開頭），申請代碼2根據項目研究所涉及的領域自行選擇相應學科申請代碼。以上選擇不準確或未選擇的項目申請不予資助。

3.預申請主要闡述所提學術思想的原創性、科學性和潛在影響力，字數控制在2000字以內。另外，申請人還須在“與指南所列研究方向的吻合性”中注明申請針對的本指南所列資助方向名稱。申請人按照信息系統中的有關提示填寫預申請相關內容后直接提交至自然科學基金委。

4.自然科學基金委受理預申請并組織審查。審查結果將以電子郵件形式反饋至申請人。

（二）正式申請。

1.預申請審查通過的申請人，應按照“專項項目-原創探索計劃項目正式申請書撰寫提綱”要求填寫正式申請書。正式申請的核心研究內容應與預申請一致，并要求在正式申請書正文的第一句明確寫明申請項目所對應的本指南所列資助方向。

2.除特別說明外，每個原創項目的合作研究單位數合計不超過2個；主要參與者必須是項目的實際貢獻者。

3.申請人應根據《國家自然科學基金資助項目資金管理辦法》《項目資金管理有關問題的補充通知》有關規定和《國家自然科學基金項目資金預算表編制說明》的具體要求，按照“目標相關性、政策相符性、經濟合理性”的基本原則，認真編制《國家自然科學基金項目資金預算表》。

4.申請人完成申請書撰寫后，在線提交電子申請書及附件材料。

5.依托單位應對本單位申請人所提交申請材料的真實性和完整性進行審核。原創項目采用無紙化申請方式，依托單位只需在線確認并及時提交電子申請書及附件材料，并在截止時間后24小時內在線提交項目申請清單，無需報送紙質申請書。項目獲批準后，將申請書的紙質簽字蓋章頁裝訂在《資助項目計劃書》最后，與之一并提交。簽字蓋章的信息應與信息系統中的電子申請書保持一致。

6.自然科學基金委項目材料接收工作組負責接收申請材料，如材料不完整，將不予接收。材料接收工作組聯系方式如下：北京市海淀區雙清路83號國家自然科學基金委員會項目材料接收工作組（行政樓101房間），聯系電話：010-62328591。

六、注意事項

（一）資助項目信息公布。

自然科學基金委將在官方網站公布資助原創項目基本信息。

（二）項目實施保障。

原創項目負責人應將主要精力投入原創項目的研究中；依托單位應加強對原創項目實施的監督、管理和服務，減輕項目負責人不必要的負擔，為項目研究提供必要的制度和條件保障。

（三）其他。

原創項目申請與資助不設復審環節。

自然科學基金委將把相關項目負責人項目執行情況和評審專家的評審情況計入信譽檔案。

（四）咨詢方式。

1.填報過程中遇到的技術問題，可聯系自然科學基金委信息中心協助解決，聯系電話：010-62317474。

2.其他問題可咨詢工程與材料科學部綜合與戰略規劃處，電話：010-62326887。

2023年度國家自然科學基金指南引導類原創探索計劃項目
——“芯片亞納米級制造前沿探索”項目指南

為貫徹落實黨中央、國務院關于加強基礎研究和提升原始創新能力的重要戰略部署，國家自然科學基金委員會（以下簡稱自然科學基金委）工程與材料學部擬資助“芯片亞納米級制造前沿探索”原創探索計劃項目（以下簡稱原創項目）。

后摩爾時代芯片先進制程工藝將邁入1 nm節點，亞納米級制造貫穿芯片制造工藝的全流程。然而，亞納米制造涉及從經典連續力學行為到量子行為的跨越，存在原子間、原子與能場間復雜的相互作用，因此亟需發展面向未來芯片的亞納米級制造新原理與新方法。

一、科學目標

本項目圍繞未來芯片制造面臨的共性基礎科學問題，旨在通過揭示表界面亞納米級尺度的定域、定量、定勢調控機制，建立亞納米級精度表面與結構的可控加工方法，為發展原子級制造開展先導性探索，支撐新一代芯片制造關鍵工藝和裝備能力的升級換代。

二、資助方向

（一）芯片制造過程中的亞納米級去除新原理與新方法。

開展多元互連異質表面亞納米級可控去除基礎研究，探索亞納米級可控去除的限域作用機理及多源能量調控機制，發展外場調控多元異質材料亞納米級同步去除技術，形成宏觀尺度互連異質表面亞納米級一致去除控制的拋光工藝、技術與裝備。

（二）芯片先進制程中的三維亞納米級結構構筑新原理與新方法。

開展極小尺度、極高深寬比亞納米結構精準制造基礎研究，探究原子級表面改性與反應調控機制，發展亞納米級表面改性的壓印模板制造與選區沉積技術，形成芯片三維互連亞納米結構的壓印成形與原子級精準沉積制造工藝與裝備。

（三）第四代半導體材料的亞納米級制造新原理。

發展金剛石等第四代半導體材料的“時-空-頻”多參數協同調控的激光制造等亞納米級制造新原理新技術；開展典型構件幾何特性、物化特性的跨尺度表征，建立其性能和制造之間的關系。

（四）芯片亞納米級制造過程中的缺陷檢測與修復。

探索芯片亞納米級制造過程中缺陷的形成機制，研究缺陷對外部能場的限域反應機制，發展超高時空精度的表面、亞表面缺陷一體化檢測技術，揭示外加能場作用下原子有序重構規律，形成基于原子排布精準調控的缺陷消除和修復新方法。

三、資助計劃

本原創項目資助期限為3年，申請書中研究期限應填寫“2024年1月1日－2026年12月31日”。計劃資助4-5項，平均資助強度200萬/項。

四、申請要求

（一）申請資格。

具有承擔基礎研究項目（課題）或其他基礎研究經歷的科學技術人員均可提出申請。

（二）限項申請規定。

1.申請人同年只能申請1項原創項目（含預申請）。

2.原創項目從預申請開始直到自然科學基金委做出資助與否決定之前，不計入申請和承擔總數范圍，獲資助后計入申請和承擔總數范圍。

3.應符合《2023年度國家自然科學基金項目指南》中對申請項目數量的限制。

五、申請程序

（一）預申請。

1.預申請提交時間為2023年11月24日－11月26日16:00時，以國家自然科學基金網絡信息系統（以下簡稱“信息系統”）提交時間為準，在提交時間之外提交的申請將不予受理。

2.請申請人登錄信息系統https://grants.nsfc.gov.cn撰寫預申請。沒有信息系統賬號的申請人請向依托單位基金管理聯系人申請開戶。在信息系統“申請與受理”菜單下，點擊“原創項目預申請”，進入預申請填寫頁面，選擇“指南引導類”，附注說明選擇“芯片亞納米級制造前沿探索”，申請代碼1應當填寫工程與材料科學部相應的申請代碼（“E”字母開頭），申請代碼2根據項目研究所涉及的領域自行選擇相應學科申請代碼。以上選擇不準確或未選擇的項目申請不予資助。

3.預申請主要闡述所提學術思想的原創性、科學性和潛在影響力，字數控制在2000字以內。另外，申請人還須在“與指南所列研究方向的吻合性”中注明申請針對的本指南所列資助方向名稱。申請人按照信息系統中的有關提示填寫預申請相關內容后直接提交至自然科學基金委。

4.自然科學基金委受理預申請并組織審查。審查結果將以電子郵件形式反饋至申請人。

（二）正式申請。

1.預申請審查通過的申請人，應按照“專項項目-原創探索計劃項目正式申請書撰寫提綱”要求填寫正式申請書。正式申請的核心研究內容應與預申請一致，并要求在正式申請書正文的第一句明確寫明申請項目所對應的本指南所列資助方向。

2.除特別說明外，每個原創項目的合作研究單位數合計不超過2個；主要參與者必須是項目的實際貢獻者。

3.申請人應根據《國家自然科學基金資助項目資金管理辦法》《項目資金管理有關問題的補充通知》有關規定和《國家自然科學基金項目資金預算表編制說明》的具體要求，按照“目標相關性、政策相符性、經濟合理性”的基本原則，認真編制《國家自然科學基金項目資金預算表》。

4.申請人完成申請書撰寫后，在線提交電子申請書及附件材料。

5.依托單位應對本單位申請人所提交申請材料的真實性和完整性進行審核。原創項目采用無紙化申請方式，依托單位只需在線確認并及時提交電子申請書及附件材料，并在截止時間后24小時內在線提交項目申請清單，無需報送紙質申請書。項目獲批準后，將申請書的紙質簽字蓋章頁裝訂在《資助項目計劃書》最后，與之一并提交。簽字蓋章的信息應與信息系統中的電子申請書保持一致。

6.自然科學基金委項目材料接收工作組負責接收申請材料，如材料不完整，將不予接收。材料接收工作組聯系方式如下：北京市海淀區雙清路83號國家自然科學基金委員會項目材料接收工作組（行政樓101房間），聯系電話：010-62328591。

六、注意事項

（一）資助項目信息公布。

自然科學基金委將在官方網站公布資助原創項目基本信息。

（二）項目實施保障。

原創項目負責人應將主要精力投入原創項目的研究中；依托單位應加強對原創項目實施的監督、管理和服務，減輕項目負責人不必要的負擔，為項目研究提供必要的制度和條件保障。

（三）其他。

原創項目申請與資助不設復審環節。

自然科學基金委將把相關項目負責人項目執行情況和評審專家的評審情況計入信譽檔案。

（四）咨詢方式。

1.填報過程中遇到的技術問題，可聯系自然科學基金委信息中心協助解決，聯系電話：010-62317474。

2.其他問題可咨詢工程與材料科學部綜合與戰略規劃處，電話：010-62326887。

 

來源:國家自然科學基金委員會

單位介紹:

? ? ?我單位主要從事國家科技計劃項目申報咨詢指導(工信部、發改委、科技部等)、組織科技成果評價、區域科技發展戰略規劃、項目戰略研討、專家考察調研、研發平臺搭建、開展科技政策培訓、企業內訓等相關業務，以促進科學技術成果的商品化和產業化。充分利用自身在高新技術領域的背景、渠道、資源及專業能力，為地方政府和科技企業提供專業化服務。

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